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    超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)

    簡(jiǎn)要描述:超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)提供一種用于異構(gòu)集成和封裝失效分析的超分辨率量子顯微鏡系統(tǒng)。該技術(shù)利用高靈敏度磁電流成像(MCI)提取多層信息,可深入查看集成電路內(nèi)芯片堆疊的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2025-05-29
    • 訪  問(wèn)  量:158
    產(chǎn)品目錄

    Product catalog

    詳細(xì)介紹
    品牌昊量光電產(chǎn)地類別進(jìn)口
    應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    超分辨量子顯微鏡 (3D磁電流顯微鏡)


    提供一種用于異構(gòu)集成和封裝失效分析的超分辨率量子顯微鏡系統(tǒng)。該技術(shù)利用高靈敏度磁電流成像(MCI)提取多層信息,可深入查看集成電路內(nèi)芯片堆疊的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。



    超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)產(chǎn)品特點(diǎn):


    疊層失效的橫向和深度定位

    高橫向/深度分辨率(分別低至200 nm和1μm)、寬視場(chǎng)(高達(dá)4 mm)的3D磁成像能力使我們能夠?yàn)椴煌瑢觿?chuàng)建電流圖像,識(shí)別短路和真正的開路。


    樣品制備簡(jiǎn)單

    由于磁場(chǎng)可不受影響地穿過(guò)cmos材料,因此需要的樣品制備只是de-capping。


    強(qiáng)大的QD軟件

    軟件利用專門開發(fā)的機(jī)器學(xué)習(xí)和后處理算法,可在幾分鐘內(nèi)獲得結(jié)果。


    室溫、環(huán)境條件、穩(wěn)健運(yùn)行

    無(wú)需特別條件即可輕松識(shí)別故障。



                



    1. TOP image 顯示了一個(gè)樣品的磁場(chǎng)圖,其中3個(gè)不同層同時(shí)位于不同深度的活動(dòng)電流。層間距為85μm。




    2. Left column(灰色)顯示了從總圖像中提取的各個(gè)單獨(dú)層。




    3. Right column(藍(lán)色)顯示了產(chǎn)生磁場(chǎng)的各個(gè)層內(nèi)提取的電流。
















    超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)參數(shù)指標(biāo):

    系統(tǒng)參數(shù)

    側(cè)向分辨力(xy)達(dá)200nm
    深度分辨力(z)達(dá)1um
    視場(chǎng)范圍達(dá)4mm×4mm
    基底噪聲150nT (DC) (AC可達(dá)10nT)
    頻率范圍DC-4GHz (AC)
    靈敏度10 μT/√Hz (DC),1   nT/√Hz (AC)
    測(cè)量時(shí)間5-10min (type)


    一般規(guī)格

    系統(tǒng)尺寸(W x   L x H)0.7 m x 0.7 m x   1.7 m
    系統(tǒng)重量~350kg
    XYZ位移臺(tái)300mm x 300 mm x 20   mm (行程)
    功耗2 kW (max )
    制冷方式風(fēng)冷


    **具體使用詳情,可咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司。


    更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

    關(guān)于昊量光電:

    上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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